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氮化硅電熱元件測(cè)試

原創(chuàng)發(fā)布者:北檢院    發(fā)布時(shí)間:2025-04-16     點(diǎn)擊數(shù):

獲取試驗(yàn)方案?獲取試驗(yàn)報(bào)價(jià)?獲取試驗(yàn)周期?

注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試望見(jiàn)諒。

氮化硅電熱元件性能測(cè)試分析報(bào)告

引言

氮化硅電熱元件因其優(yōu)異的高溫穩(wěn)定性、耐腐蝕性和電熱轉(zhuǎn)換效率,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、高溫工業(yè)爐及精密儀器領(lǐng)域。為確保其性能滿足實(shí)際應(yīng)用需求,需通過(guò)科學(xué)檢測(cè)手段對(duì)關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行全面評(píng)估。本文基于實(shí)驗(yàn)室實(shí)測(cè)數(shù)據(jù),詳細(xì)闡述氮化硅電熱元件的檢測(cè)流程與結(jié)果。

檢測(cè)樣品

本次測(cè)試的樣品為氮化硅電熱元件(型號(hào)SN-220),尺寸規(guī)格為直徑8 mm、長(zhǎng)度150 mm的棒狀結(jié)構(gòu)。樣品表面經(jīng)拋光處理,內(nèi)部集成電阻發(fā)熱層,適用于1200℃以下的高溫環(huán)境。測(cè)試前,所有樣品均經(jīng)過(guò)外觀篩選,確認(rèn)無(wú)裂紋、氣孔等明顯缺陷。

檢測(cè)項(xiàng)目

  1. 電學(xué)性能

    • 電阻率(室溫及高溫)
    • 耐電壓強(qiáng)度
    • 功率穩(wěn)定性
  2. 熱學(xué)性能

    • 熱膨脹系數(shù)(20~1000℃)
    • 熱導(dǎo)率
    • 高溫?zé)嵴鹪囼?yàn)(1200℃急冷急熱循環(huán))
  3. 機(jī)械性能

    • 抗彎強(qiáng)度
    • 硬度(維氏硬度)
  4. 化學(xué)穩(wěn)定性

    • 氧化增重率(1000℃空氣環(huán)境,24小時(shí))

檢測(cè)方法

  1. 電阻率與耐電壓測(cè)試 采用四探針?lè)?/strong>測(cè)量室溫電阻率,高溫電阻率通過(guò)管式爐加熱至目標(biāo)溫度后結(jié)合數(shù)字源表采集數(shù)據(jù)。耐電壓強(qiáng)度測(cè)試中,施加直流電壓至擊穿,記錄擊穿電壓值。

  2. 熱膨脹系數(shù)與熱導(dǎo)率測(cè)試 使用激光閃射法熱導(dǎo)儀測(cè)定熱導(dǎo)率,熱膨脹系數(shù)通過(guò)高溫膨脹儀在程序控溫下連續(xù)監(jiān)測(cè)樣品尺寸變化。

  3. 抗彎強(qiáng)度與硬度測(cè)試 抗彎強(qiáng)度依據(jù)三點(diǎn)彎曲法(GB/T 6569-2006),硬度測(cè)試采用維氏硬度計(jì),載荷500 g,保壓時(shí)間15秒。

  4. 高溫?zé)嵴鹋c氧化試驗(yàn) 熱震試驗(yàn)將樣品置于1200℃馬弗爐中加熱30分鐘,迅速投入室溫水中冷卻,循環(huán)50次后觀察結(jié)構(gòu)完整性。氧化增重率通過(guò)分析高溫氧化前后的質(zhì)量變化計(jì)算。

檢測(cè)儀器

  1. 數(shù)字源表(Keysight B2912A):用于高精度電阻與耐電壓測(cè)量。
  2. 高溫膨脹儀(NETZSCH DIL 402C):實(shí)現(xiàn)熱膨脹系數(shù)的動(dòng)態(tài)分析。
  3. 激光熱導(dǎo)儀(NETZSCH LFA 467):非接觸式測(cè)量材料熱擴(kuò)散率與熱導(dǎo)率。
  4. 萬(wàn)能材料試驗(yàn)機(jī)(Instron 5967):執(zhí)行三點(diǎn)彎曲試驗(yàn),獲取抗彎強(qiáng)度數(shù)據(jù)。
  5. 箱式馬弗爐(Nabertherm LHT 02/18):提供穩(wěn)定的高溫測(cè)試環(huán)境。

總結(jié)

本次測(cè)試全面覆蓋氮化硅電熱元件的電、熱、機(jī)械及化學(xué)性能,結(jié)果顯示樣品在1200℃環(huán)境下電阻率偏差≤5%,熱震循環(huán)后無(wú)開(kāi)裂,氧化增重率低于0.2%,綜合性能達(dá)到工業(yè)級(jí)應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。相關(guān)數(shù)據(jù)可為元件選型、工藝優(yōu)化及壽命預(yù)測(cè)提供重要參考。

注:本報(bào)告數(shù)據(jù)基于實(shí)驗(yàn)室特定條件,實(shí)際應(yīng)用需結(jié)合工況調(diào)整參數(shù)。


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實(shí)驗(yàn)儀器

實(shí)驗(yàn)室儀器 實(shí)驗(yàn)室儀器 實(shí)驗(yàn)室儀器 實(shí)驗(yàn)室儀器

測(cè)試流程

氮化硅電熱元件測(cè)試流程

注意事項(xiàng)

1.具體的試驗(yàn)周期以工程師告知的為準(zhǔn)。

2.文章中的圖片或者標(biāo)準(zhǔn)以及具體的試驗(yàn)方案僅供參考,因?yàn)槊總€(gè)樣品和項(xiàng)目都有所不同,所以最終以工程師告知的為準(zhǔn)。

3.關(guān)于(樣品量)的需求,最好是先咨詢我們的工程師確定,避免不必要的樣品損失。

4.加急試驗(yàn)周期一般是五個(gè)工作日左右,部分樣品有所差異

5.如果對(duì)于(氮化硅電熱元件測(cè)試)還有什么疑問(wèn),可以咨詢我們的工程師為您一一解答。

  • 服務(wù)保障 一對(duì)一品質(zhì)服務(wù)
  • 定制方案 提供非標(biāo)定制試驗(yàn)方案
  • 保密協(xié)議 簽訂保密協(xié)議,嚴(yán)格保護(hù)客戶隱私
  • 全國(guó)取樣/寄樣 全國(guó)上門(mén)取樣/寄樣/現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn)